26.04.13

PVA TePla AG: Übernahme der JenaWave GmbH

Die untenstehende Meldung ist eine Original-Meldung des Unternehmens. Sie ist nicht von der ECOreporter.de-Redaktion bearbeitet. Die presserechtliche Verantwortlichkeit liegt bei dem meldenden Unternehmen.

(Wettenberg, 26. April 2013) – Die PVA TePla AG, Wettenberg, ein Produzent von Anlagen für die industrielle Kristallzucht sowie von Plasma-, Vakuum- und Wärmebehandlungsanlagen, unternimmt nach dem Erwerb der Munich Metrology GmbH im letzten Jahr einen weiteren Schritt zur Stärkung ihres Knowhows auf dem Gebiet der Metrologie für die Halbleiterindustrie. Mit der Übernahme der JenaWave GmbH, Jena, wird grundlegende Technologie für den Bau von Analysesystemen ins eigene Haus geholt.

JenaWave entwickelt und baut die als Kernkomponenten anzusehenden optischen Messköpfe inkl. der komplexen Auswertungs- und Steuerungs-Software für die Analysesysteme vom Typ SIRD (=Scanning Infrared Depolarization) und TWIN (Thermal Wave Inspection) aus dem Produktbereich Metrologie, der in Kirchheim bei München ansässig ist. Mit den SIRD Systemen können unerwünschte Scher-spannungen (Spannungen durch Verschiebungen in der atomaren Gitterstruktur) in Silizium-Wafern, die durch Hochtemperaturprozesse während der Herstellung von Halbleiterprodukten entstehen können, detektiert werden. Die TWIN Systeme überwachen die Gleichmäßigkeit von Ionen-Implantations-Prozessen. Derartige Metrologiesysteme werden an alle renommierten Silizium Wafer-Hersteller und zahl-reiche ihrer Kunden weltweit geliefert und werden dort genutzt, um komplexe Ferti-gungsschritte in der Wafer- und Halbleiterfertigung zu überwachen. Des Weiteren entwickelt und fertigt die JenaWave das polarisationsoptische Messmikroskop SIREX (=Scanning Infrared Reflection EXamination), das der Scherspannungsvisualisierung insbesondere für die Entwicklung von 3D-IC und MEMS dient.

Mit der Übernahme von JenaWave erhöht die PVA TePla die Fertigungstiefe und erwirbt wichtiges Knowhow hinsichtlich der in den Messköpfen verwendeten Laser-optik. Zudem werden durch die Integration des Unternehmens in den eigenen Standort Jena produktionsseitig bedeutsame Synergieeffekte erzielt. Die entsprechenden Inspektionssysteme, in denen die Messkerne verbaut werden, können u.a. auf der folgenden Webseite

http://www.pvateplaamerica.com/semi_stressimaging.php

aufgerufen werden.

Weitere Informationen erhalten Sie bei:
Dr. Gert Fisahn
Investor Relations
PVA TePla AG Phone: +49(0)641/68690-400
gert.fisahn@pvatepla.com www.pvatepla.com
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