Chipausrüster ASML widerspricht Berichten über Anlagenlieferung nach China

Der niederländische Halbleiterausrüster ASML hat Spekulationen zurückgewiesen, wonach eine seiner modernsten Anlagen zur Chipherstellung nach China gelangt sein könnte. Zuvor hatte es aus den USA entsprechende Bedenken gegeben.

"ASML hat noch nie eine EUV-Maschine nach China geliefert", erklärte der Konzern am Freitag auf Anfrage der Nachrichtenagentur Reuters. Auch speziell für den Einsatz in EUV-Anlagen entwickelte Komponenten, Module oder Geräte würden nicht in die Volksrepublik exportiert. EUV steht für Extreme Ultraviolet Lithography, die Schlüsseltechnologie für die Herstellung der aktuell modernsten Mikrochips. ASML ist der weltweit einzige Anbieter von EUV-Anlagen.

USA erheben Vorwürfe

Die Nachrichtenagentur Bloomberg hatte zuvor berichtet, dass die USA ASML vorwerfen, eine EUV-Maschine sei nach China gelangt. ASML habe das bereits zurückgewiesen, US-Handelsminister Howard Lutnick soll der Meinung sein, dass der Konzern die USA täuschen will. Bloomberg beruft sich dabei auf anonyme Quellen.

Laut ASML befinden sich aktuell weltweit 314 EUV-Systeme im Einsatz, keines davon in China. Der Konzern weiß nach eigener Angabe genau über den Standort jeder Maschine Bescheid, ohne Einverständnis von ASML können die Anlagen nicht betrieben oder bewegt werden. Auch jeder Verbindungsverlust wird laut Unternehmen registriert.

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